“內蒙古無塵車間”又稱“凈化車間”、“無塵車間”,是指將空氣中的污染物排除在外,并將溫度、濕度、風量、室內壓力、噪音振動等因素控制在一定范圍內的特殊設計房間。廣泛應用于電子、食品等行業。無塵化車間設計要求如下:沒有粉塵的內蒙古無塵車間。電子產業潔凈廠房的工藝布局應適應電子產品發展的靈活性,以滿足產品生產工藝改造和擴大生產的需要。主樓宜采用大空間、大跨度的柱網,不宜采用內墻承重的結構體系。大面積的電子工業潔凈廠房往往采用上下技術夾層這種“夾心”型多層結構。
要考慮到大型生產工藝設備的安裝、維護要求,設置必要的運輸通道和安裝、檢修口,不影響清潔生產環境。無塵室采用二級耐火等級設計;特殊氣體的儲存和分配間應與無粉塵車間(區)隔開,耐火限不低于1H。毒氣型硅烷或其混合物氣瓶區至少有三面敞開,氣瓶與周圍結構或圍欄的距離應大于3M,儲存裝置上的雨蓬不少于3.5M。在電子行業無塵車間內,不得使用對電子產品有影響的材料進行裝飾。電除塵車間可設置空氣吹淋室,與一般的生物除塵車間不同。吹淋房間應靠近潔凈工作服更衣室。單吹淋房按班次較大為30人一間設計,當工作人員超過5人時,應設旁門,當人數過多或為了縮短時間,還可設置隧道式吹淋房。
在高層無塵車間,為了盡量不影響氣流的單向和平行,使用了凈化式淚珠燈照明。電子業無塵車間經常要根據生產工藝要求,設置防靜電環境,靜電的產生,對已經產生的靜電及時安全地排除。無塵室具有抗微振能力,在廠地環境中應避免振動源。除了一般的給排水要求外,內蒙古無塵車間還對超大規格集成電路用水有標準。